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普通會(huì)員
參數(shù):
1.主機(jī)規(guī)格:340mm×390mm×300mm(W×D×H)
2.靶(上部電極):金:50mm×0.1mm(D×H)
3.靶材:Au(標(biāo)配)
4.樣品室:硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm(D×H)
5.靶材尺寸:Ф50mm
6.真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
7.離子電流表: 最大電流:50mA
8.定時(shí)器:最長(zhǎng)時(shí)間:1-360s
10.可通入氣體: 多種
11.最高電壓: -2800 DCV
12.機(jī)械泵:標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S(國產(chǎn)VRD-8)
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