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1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%
2、真空樣品室:直徑:160mm,高:110mm
3.樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:50mm
4.工作真空: 2×10-1—10-1mbar
5.離子電流表:0-50mA
6.計時器:根據(jù)濺射習慣設(shè)定單次濺射時間。
7.濺射電壓:-1600DVC
8.飛越真空泵(VRD-4):1.1L/S
9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣等多種氣體
10.針閥: 配有進氣口,微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ4*2.5mm軟管。
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