MKS 901 Plus (901P) 負載鎖定傳感器 (LLT) 專為負載鎖定環(huán)境而設(shè)計，結(jié)合了壓電和 Micro Pirani? 真空傳感器技術(shù)。與傳統(tǒng)的熱導(dǎo)率計相比，組合輸出提供了更高的精度、穩(wěn)定性、可重復(fù)性和更快的響應(yīng)時間。

• 絕對壓力測量范圍從 1,000 到 10 SITIon: relative; vertical-align: baseline; top: -0.5em;">-5 Torr

• 單個傳感器中的 3 傳感器功能可實現(xiàn)廣泛的測量范圍

• 模擬、RS232、RS485 和 EtherCAT? 版本

• 可選的集成觸摸屏顯示器可用于本地壓力指示

• 快速、準確和可重復(fù)的壓力測量減少了過程周期時間

• 三個可選設(shè)定點，響應(yīng)時間快，可實現(xiàn)可靠的過程控制

901P規(guī)格

• 絕對測量范圍

  1.0 x 10 -5至 1500 托

• 差分測量范圍

  -760 至 +760 托

• 數(shù)字通訊

  RS485/RS232（4800 至 230400 波特）

• 傳感器

  MicroPirani?（MEMS 熱導(dǎo)率）
  壓電微分（MEMS 振膜）

• 繼電器

  3 個繼電器 SPDT（可選）

• 設(shè)定點范圍

  絕對值：5.0 x 10 -4至 1000 Torr：差值：-760 至 +100 Torr

• 校準氣體

  空氣、氬氣、氦氣、氮氣、H2、H2O 蒸汽、CO2、氙氣、氖氣

• 工作溫度

  0° 至 40°C（32° 至 104°F）

• 最高烘烤溫度

  85°C (185°F)，非工作

• 數(shù)字控制

  調(diào)零、量程調(diào)整、模擬輸出、壓力單位、波特率、地址、出廠默認值、設(shè)定點功能：值、滯后、方向、啟用、傳感器狀態(tài)、開關(guān)、LED 測試

• 數(shù)字狀態(tài)

  絕壓和壓差讀數(shù)、單位、設(shè)定點、工作時間、傳感器溫度、用戶標簽、型號、設(shè)備類型、序列號、固件和硬件版本、部件號、制造商

• 模擬輸出

  絕對壓力：1 至 9 VDC，1 VDC/decade，100Ω 最大輸出阻抗（16 位）

• 可選模擬輸出 2

  壓電差分：5 VDC = 0 Torr，1 VDC/decade（12 位）

• 繼電器觸點額定值

  1 A @ 3 0VAC/DC，電阻

• 繼電器響應(yīng)

  最大 100 毫秒

• 電源要求

  RS232/RS485：9 到 30 VDC，最大 < 1.2 瓦
  EtherCAT：9 到 30 VDC，最大 < 2 瓦

• 微皮拉尼精度

  5 x 10-4 to 1 x 10-3 Torr ±10% of reading
  1 x 10-3 to 100 Torr ±5% of reading
  100 Torr to Atm ±25% of reading

• 微皮拉尼重復(fù)性

  1 x 10-3 至 100 Torr ±2% 讀數(shù)

• 壓電差分精度

  -10 至 +10 Torr ±10% 讀數(shù)
  -100 至 -10 Torr ±8% 讀數(shù)
  -760 至 -100 Torr ±1% 讀數(shù)
  +10 至 100 Torr ±5% 讀數(shù)

• 壓電差分重復(fù)性

  -760 至 +10 Torr ±1% 讀數(shù)

• 壓電微分零穩(wěn)定性

  滿量程的 ±0.1%（滿量程 = 760 Torr）

• 超壓限制

  1500 托（絕對值）

• 內(nèi)部容積

  (KF16) 2.8 毫升

• 外露材料

  硅、SiO2、Si3N4、金、低釋氣環(huán)氧樹脂、304 不銹鋼、Viton?

• 電子外殼和法蘭

  304不銹鋼

• 重量

  170 克（帶 KF 16 法蘭）

絕壓和差壓測量

901P 結(jié)合了絕壓和差壓測量技術(shù)，以提供卓越的性能和功能。901P 提供獲得專利的、獨立于氣體的絕對壓力測量，范圍為 50 -1000 Torr，其精度比熱導(dǎo)率傳感器更高。

MicroPirani? 傳感器技術(shù)

與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計不同，MicroPirani? 中的傳感器元件由一平方毫米的硅芯片制成，允許在非常小的體積內(nèi)進行測量。由于采用了 MicroPirani? 技術(shù)，901P 可以讀取低至 10 -5 Torr 的壓力，比標準皮拉尼傳感器低 20 年。傳感器設(shè)計最大限度地減少了對流的影響，因此 901P 可以安裝在任何方向，而不會影響精度。

壓電差分傳感器技術(shù)

Piezo 是一種壓差傳感器，可確保在不同的氣壓條件下正確測量氣壓。壓電技術(shù)是直接壓力讀數(shù)，允許測量獨立于氣體。壓電傳感器相對于大氣壓的測量范圍為 -760 至 +760 Torr。

模擬壓力輸出

901P 還具有每十進制 1VDC 的模擬壓力輸出，可以連接到外部模擬設(shè)備以進行壓力讀數(shù)或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數(shù)字用戶界面進行選擇。輔助可選模擬輸出用于提供差壓測量。

三個過程控制繼電器

901P 具有多達三個機械繼電器，可用于過程控制，例如互鎖隔離閥和真空泵。每個設(shè)定點都可以分配給差分壓電測量或組合絕對 MicroPirani? - 壓電測量。

緊湊的設(shè)計

這些真空傳感器的緊湊設(shè)計顯著減少了真空計占用的空間量。這對系統(tǒng)設(shè)計人員特別有吸引力，并允許更緊湊的真空系統(tǒng)。

可選的集成觸摸屏顯示器

可選的集成觸摸屏顯示器可由用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并可以訪問設(shè)定點參數(shù)以及氣體類型。顯示屏還指示可用設(shè)定點繼電器的狀態(tài)。在高對比度顯示屏上可以在 5 米以外看到來自單個傳感器的顯示壓力讀數(shù)或組合讀數(shù)。